论文部分内容阅读
介绍了驻极体微电机、静电感应微电机、电晕微电机、磁阻微电机、永磁微电机、超声波微电机、分子马达和纳米马达等几种微电机的结构、原理、技术指标和国内外发展应用概况。
MEMS微电机综述
【摘 要】
：
介绍了驻极体微电机、静电感应微电机、电晕微电机、磁阻微电机、永磁微电机、超声波微电机、分子马达和纳米马达等几种微电机的结构、原理、技术指标和国内外发展应用概况。
【机 构】
：
上海交通大学微纳米科学技术研究院
【出 处】
：
微电机
【发表日期】
：
2009年8期
【基金项目】
：
武器设备预研基金项目（9140A09020706JW0314）国家自然科学基金项目（60402003）
其他文献
和矢量控制相比，永磁直线同步电动机直接推力控制具有快速和鲁棒性特点。由于经典直接推力控制在电机参数变化和负载扰动影响下会产生推力波动，严重影响系统性能，为改善系统性能
按箝位方式对尺蠖驱动器进行分类。介绍了尺蠖驱动器箝位机构从主动箝位到楔箝位再到楔辊子箝位以及螺旋楔箝位的发展过程;指出传统主动箝位的不足及楔箝位和楔辊子箝位各自
分析了非对称绕组单相电动机的工作原理;结合电压空间矢量（SVPWM）方法,推算出一种用于非对称绕组的单相电动机的控制算法,并利用Matlab7.0软件给出了仿真结果,该结果表明利用这