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本文介绍了我校研制的矢量扫描电子束曝光机中，扫描场非正交性畸变的校正情况，该机器的偏转系统为内透镜双磁偏转方式。
电子束曝光机扫描场非正交性畸变校正
【摘 要】
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本文介绍了我校研制的矢量扫描电子束曝光机中，扫描场非正交性畸变的校正情况，该机器的偏转系统为内透镜双磁偏转方式。
【机 构】
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山东工业大学自动化工程系
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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1995年2期
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