【摘 要】
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根据双层均质薄膜的两种不同生长模型,编写了处理双层膜的椭圆偏振参数的计算程序。用此计算程序对实验测出的椭偏数据△、ψ进行拟合计算,不但可以得到双层膜厚度和光学常数
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根据双层均质薄膜的两种不同生长模型,编写了处理双层膜的椭圆偏振参数的计算程序。用此计算程序对实验测出的椭偏数据△、ψ进行拟合计算,不但可以得到双层膜厚度和光学常数,而且还可以推测出双层膜的生长机制。文中列举了用该程序进行拟合计算的实例,分析了△、ψ的随机误差对拟合计算结果的影响,并对该程序的可靠性进行了验证。
According to two different growth models of two-layer homogeneous film, a procedure for calculating the ellipsometric parameters of the two-layer film was prepared. Using this calculation program to fit the experimental ellipsometric data △ and ψ, we can get the bilayer film thickness and optical constants, and we can infer the growth mechanism of the bilayer film. In this paper, an example of fitting calculation with this program is listed, and the influence of random errors of △ and ψ on the fitting calculation results is analyzed. The reliability of this program is also verified.
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