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为解决一种工作在几μs宽高压脉冲下高压真空器件的击穿问题，据其绝缘结构特点确定计算边界条件并用有限元法计算了阴极区域的电场分布；采用高压真空器件解剖、扫描电镜分析和高压脉冲耐压试验分析了高压真空器件内的真空击穿、陶瓷击穿。结果证明采取高压脉冲老炼方法对器件加固后，可减少器件的高压击穿几率，提高耐高压能力和工作可靠性。