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利用二维X射线衍射线形分析方法,分析了CoSi2薄膜材料的二维衍射线形.结果表明,薄膜中不同方位的衍射线形存在明显差异,主要与材料中晶粒尺寸及显微畸变的空间分布有关,其中沿薄膜法线方向上的晶粒尺寸最大,同时该方向的显微畸变最小.
CoSi2薄膜二维X射线衍射线形分析与表征
【摘 要】
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利用二维X射线衍射线形分析方法,分析了CoSi2薄膜材料的二维衍射线形.结果表明,薄膜中不同方位的衍射线形存在明显差异,主要与材料中晶粒尺寸及显微畸变的空间分布有关,其中
【机 构】
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上海交通大学材料科学与工程学院高温材料及高温测试教育部重点实验室
【出 处】
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金属学报
【发表日期】
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2005年5期
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