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VO2薄膜的研究和应用进展

来源 :材料导报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：xixiyibobo

【摘 要】

：

综述了VO2薄膜的制备工艺，着重探讨了热处理工艺和条件对其性能的影响，并介绍了它的最新应用情况。

【作 者】

：

张弛 刘梅冬 曾亦可 刘少波 黄焱球 

【机 构】

：

华中科技大学电子科学与技术系

【出 处】

：

材料导报

【发表日期】

：

2003年F09期

【关键词】

：

VO2薄膜 制备工艺 光电转换性能 热敏性能 气相沉积 敏感材料 VO_2 thin film  preparation progress  heat trea 

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综述了VO2薄膜的制备工艺，着重探讨了热处理工艺和条件对其性能的影响，并介绍了它的最新应用情况。

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