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本文对太赫兹MEMS滤波器进行了简单介绍并分析了对其性能造成影响的参数，且对这些参数的工艺误差进行了仿真。结合了设计仿真与工艺结果并进行整体分析，提出有效的解决方案，提高太赫兹MEMS滤波器的成品率和性能参数。
太赫兹MEMS滤波器性能影响因素
【摘 要】
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本文对太赫兹MEMS滤波器进行了简单介绍并分析了对其性能造成影响的参数，且对这些参数的工艺误差进行了仿真。结合了设计仿真与工艺结果并进行整体分析，提出有效的解决方案
【机 构】
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中国工程物理研究院电子工程研究所四川绵阳621900中国工程物理研究院太赫兹研究中心四川绵阳621900
【出 处】
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第一届全国太赫兹科学技术与应用学术交流会
【发表日期】
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2012年9期
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