B2O3对LTPS用基板玻璃结构和黏温性能的影响

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以LTPS用无碱基板玻璃配比料方,探讨B2O3对无碱硼铝硅酸盐玻璃结构和黏温性能的影响.通过红外光谱和X射线光电子能谱对玻璃试样进行网络结构分析,并测试了玻璃试样的高温黏度、软化点温度、退火点温度和应变点温度.结果表明:B2O3含量较低(0.13%)时,B3+以四配位的[BO4]存在;随着B2O3含量升高,满足[BO4]形成之外的B3+逐渐以[BO3]的形式存在;[BO3]含量增多,玻璃黏度逐渐下降.
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