【摘 要】
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微型真空泵的便携式、低功耗、低价格、易集成的特性,具有广泛的应用前景。本文基于微型真空泵的性能测试方法和系统缺乏的现状,针对目前微型真空泵和微小型待测容器极限真空
【基金项目】
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国家级大学生创新创业训练计划项目(201910145123),中央高校基本科研业务专项资金(N182410007-03、N2003010),辽宁省“兴辽英才”计划资助项目(XLYC1807072)
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微型真空泵的便携式、低功耗、低价格、易集成的特性,具有广泛的应用前景。本文基于微型真空泵的性能测试方法和系统缺乏的现状,针对目前微型真空泵和微小型待测容器极限真空难以测量的问题,提出用静态膨胀法和天平称重法测试极限压力和抽速的思路。实验研究了不同抽速和不同容积测试罩下的系统特性,结果表明,当控制测试罩容积在测试过程中达到极限真空的时间为20~40 s,大小测试罩容积之差在10倍以内时,测试快速准确。
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