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用聚焦的CO2激光加热蒸镀薄膜，过去也曾进行过2~3例试验，但都限于100瓦以下的小功率激光，主要用于制备光学薄膜等方面。最近，电子技术综合研究所电波电子部电子加工研究室开发了激光蒸镀技术，首次用300~1000瓦大功率激光蒸镀材料,高效率地淀积成高致密、高硬度的BN以及其他各种陶瓷膜。
用大功率CO2激光蒸镀陶瓷膜
【摘 要】
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用聚焦的CO2激光加热蒸镀薄膜，过去也曾进行过2~3例试验，但都限于100瓦以下的小功率激光，主要用于制备光学薄膜等方面。最近，电子技术综合研究所电波电子部电子加工研究室开发了激光蒸镀技术，首次用300~1000瓦大功率激光蒸镀材料,高效率地淀积成高致密、高硬度的BN以及其他各种陶瓷膜。
【出 处】
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激光与光电子学进展
【发表日期】
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1984年21期
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