论文部分内容阅读
河以逶蛇故能远,山以陵迟故能高。没有新技术,发展就只能是空口号。只有技术逐渐积累,中国半导体产业这座大山才能越来越高。应用材料公司作为国际领先的半导体设备厂商,自1984年进入中国已有30多年的历史,为中国半导体产业提供了许多创新的设备和先进的工艺。2014年推出钴薄膜铜互连技术新材料创新设备,实现了15年来互连工艺最大的材料创新,以及首款应用于硅通孔(TSV)量产的金属化解决方案。2015年又推出了两款具有革命性的原子级控制创新设备和技术。