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本文讨论了光学光刻中的离轴照明技术.主要从改善光刻分辨率、增大焦深、提高空间像对比度等方面对离轴照明与传统照明作了比较,并用Prolith仿真软件进行了模拟分析.研究表明,离轴照明是一种很有效的光刻分辨率增强技术.
光学光刻中的离轴照明技术
【摘 要】
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本文讨论了光学光刻中的离轴照明技术.主要从改善光刻分辨率、增大焦深、提高空间像对比度等方面对离轴照明与传统照明作了比较,并用Prolith仿真软件进行了模拟分析.研究表明
【机 构】
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中国科学院上海光学精密机械研究所
【出 处】
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激光杂志
【发表日期】
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2005年1期
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