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期刊论文
硅片自动上下料设备的研制
硅片自动上下料设备的研制
来源 :物流工程与管理 | 被引量 : 0次 | 上传用户:shinemun
【摘 要】
:
通过分析太阳能电池制造过程中硅片的上料和下料方式的现状,提出自动上下料设备研制的必要,介绍了全自动硅片上下料设备的技术参数和工艺流程,详细分析了设备的结构设计,包括
【作 者】
:
苗俊芳
李安华
廖鑫
【机 构】
:
中国电子科技集团公司第二研究所
【出 处】
:
物流工程与管理
【发表日期】
:
2012年6期
【关键词】
:
硅片
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silicon wafer
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通过分析太阳能电池制造过程中硅片的上料和下料方式的现状,提出自动上下料设备研制的必要,介绍了全自动硅片上下料设备的技术参数和工艺流程,详细分析了设备的结构设计,包括自动换蓝组件、装片组件、缓存组件、传动系统、电气控制系统和设备主体等。
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