【摘 要】
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为满足现代军用综合性光学仪器一机多用的要求,研制了500～1200nm波段宽带减反膜。采用混合H4、SiO2和MgF2三种材料制备宽带减反膜。通过实验分析了误差产生的原因,并借助膜系
【基金项目】
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国家自然科学基金(60977052);中山市科技计划项目(20103A266)资助课题
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为满足现代军用综合性光学仪器一机多用的要求,研制了500～1200nm波段宽带减反膜。采用混合H4、SiO2和MgF2三种材料制备宽带减反膜。通过实验分析了误差产生的原因,并借助膜系设计软件,对结果采用变尺度法进行模拟优化,最后在制备过程中通过改变每层的修正系数,解决了厚度误差对光谱特性的影响,最终用国产真空镀膜机制备了超宽带减反膜,在500～1200nm波段反射率平均小于0.5%。
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