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阐述光刻机产业发展历史和当前产业现状,分析阿斯麦(ASML)、尼康(NIKON)、佳能(CANON)等企业的成败原因,为我国光刻机产业发展寻求突破路径提供新思路。
基于光刻机全球产业发展状况分析我国光刻机突破路径
【摘 要】
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阐述光刻机产业发展历史和当前产业现状,分析阿斯麦(ASML)、尼康(NIKON)、佳能(CANON)等企业的成败原因,为我国光刻机产业发展寻求突破路径提供新思路。
【机 构】
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中国电子信息产业集团有限公司
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2021年9期
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