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研究了低浓度SiH_4在CW CO_2激光作用下的分解,对分解机理进行了分析.理论结果与实验较好地符合.
在CW CO2激光作用下SiH4的分解
【摘 要】
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研究了低浓度SiH_4在CW CO_2激光作用下的分解,对分解机理进行了分析.理论结果与实验较好地符合.
【机 构】
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河北大学物理系河北省计量所中国科学院物理所
【出 处】
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光学学报
【发表日期】
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1983年3期
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