顶层氧化对氧-氮-氧叠式膜的可靠性的影响

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顶层氧化对氧-氮-氧叠式膜的可靠性的影响=Top-oxidationeffectsonthereliabilityoloxide-nitride-oxidestackedfilm[刊,英]/Yoneda,K.…J.Electrorhem.Soc.-1... Effect of Top Oxidation on Reliability of Oxygen-Nitrogen-Oxygen Stacked Film = Top-oxidation effect of oxide-nitride-oxide stacked film [Journal of English] / Yoneda, K. ... J. Electrorhem. Soc. -1 ...
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