【摘 要】
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使用磁控溅射法制备了不同调制波长的Ni/Al多层膜,利用X射线衍射（XRD）和高分辨电子显微术（HRTEM）对薄膜进行了微结构表征,采用连续刚度法（CSM）研究了不同压入深度下多层膜的硬度.结
【机 构】
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西安交通大学金属材料强度国家重点实验室,陕西师范大学物理学与信息技术学院
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使用磁控溅射法制备了不同调制波长的Ni/Al多层膜,利用X射线衍射（XRD）和高分辨电子显微术（HRTEM）对薄膜进行了微结构表征,采用连续刚度法（CSM）研究了不同压入深度下多层膜的硬度.结果表明,随调制波长减小,薄膜呈纳米晶结构特征且存在超硬效应.调制波长L大于30nm时,纳米压入硬度随压入深度的增加而升高;L小于30nm时,最大压入深度的硬度测量值反而最小.同时发现压入深度较小时硬度相对大小对调制波长不敏感.结合微结构表征,从晶界和膜界的竞比变形角度进行了分析讨论.
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