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以手动真空探针设备为例，介绍了真空探针设备与常规设备不同的工艺技术，并分析了真空腔体密封方式及操作流程。
真空探针设备工艺研究
【摘 要】
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以手动真空探针设备为例，介绍了真空探针设备与常规设备不同的工艺技术，并分析了真空腔体密封方式及操作流程。
【机 构】
：
中国电子科技集团公司第四十五研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2013年4期
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