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采用等离子体增强化学气相沉积（PE-CWD）的方法及TiCl4／O2混合气体在常温常压下可制备纳米晶TiO2多孔薄膜．利用偏光显微镜分析（PM）、扫描电子显微镜分析（SEM）、高分辨透射电镜分析（HRTEM）、X光衍射分析（XRD）等检测手段，系统地对纳米晶TiO2多孔膜表面形貌以及成分进行表征．研究结果表明：使用等离子体化学气相沉积方法，可以在常温常压下快速沉积纳米晶TiO2多孔薄膜，并且PE-CVD与传统的化学方法相比具有低能耗、低污染、方法简便、成本低等优点，是具有良好发展前景的纳米晶多孔薄膜制备新