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计算机微视觉方法在微运动测量中得到了广泛的应用。本文对计算机微视觉测量的基本原理、特点及采用计算机微视觉测量微运动的精度影响因素进行了分析。此外,以精密微动平台为测量对象,将计算机微视觉与运动估计算法相结合,测量了微动平台的微运动。测量结果表明,这种将计算机微视觉与运动估计算法相结合的方法能够实现高精度的微运动测量。