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金刚石在力学、热学、电学、化学等方面有着重要的性能,而且金刚石在当前条件下是硬度最高的物质,在实际的生活和生产中均发挥着重要作用,但是由于天然的金刚石数量有限,人们需要通过不同的方法去制备人工金刚石。本文主要探讨的是纳米金刚石薄膜的制备机理及其机械性能研究问题,在具体的探讨过程中首先从纳米金刚石的概述入手去分析,其次对纳米金刚石膜的制备工艺进行了研究分析,最后分析了纳米金刚石薄膜的机械性能。