【摘 要】
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为解决有机/无机杂化材料薄膜厚度较薄且难加工等问题,设计并制作了一种基于加载条形光波导结构的MZI（Mach-Zehnder Interferometer）型快速、低功耗热光开关器件。聚合物材料具
【机 构】
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吉林大学集成光电子学国家重点联合实验室,吉林大学电子科学与工程学院,吉林大学导体研究所实验区
【基金项目】
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国家重点研发计划基金资助项目（2016YFB0402502）, 国家自然科学基金资助项目（61575076,61405070）, 吉林省科技发展计划基金资助项目（20160520091JH）, 中国博士后科学基金资助项目（2015M571362）
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为解决有机/无机杂化材料薄膜厚度较薄且难加工等问题,设计并制作了一种基于加载条形光波导结构的MZI（Mach-Zehnder Interferometer）型快速、低功耗热光开关器件。聚合物材料具有较低的热导率和较大的热光系数,能有效降低器件的功耗,以热导率相对较大的Si O2的衬底作为下包层,可有效加快器件响应时间。采用热光系数较大的有机/无机杂化材料DR1/Si O2-Ti O2作为波导芯层,以聚甲基丙烯酸甲酯和甲基丙烯酸环氧丙酯的共聚物（P（MMA-GMA）：Poly-Methyl-Methacry
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