【摘 要】
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分别采用X射线能量分散谱仪（EDS）和电子能量损失谱仪（EELS）对锆合金中析出的锆氧化物相的氧含量（原子分数）及分布进行了测试,并对测试结果进行了对比。结果表明：EELS测得的锆氧化物
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目（21171018,51271021）
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分别采用X射线能量分散谱仪（EDS）和电子能量损失谱仪（EELS）对锆合金中析出的锆氧化物相的氧含量（原子分数）及分布进行了测试,并对测试结果进行了对比。结果表明：EELS测得的锆氧化物中的氧含量为67.1%,与ZrO2的氧含量接近（66.7%）,而EDS测得的锆氧化物中的氧含量仅为30.1%,与ZrO2的氧含量相差甚远;经过选区电子衍射花样标定,该锆氧化物为ZrO2相,与EELS分析结果一致,因此利用EELS技术测定氧含量具有更高的精确度和可靠性,EELS可以用于氧化物的直接标定;同时,利用EELS成像
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