聚四氟乙烯薄膜的制备及其红外光谱研究

来源 :物理学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：shi_bc

【摘要】

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用射频磁控溅射方法分别在ＮａＣｌ和Ｓｉ基底上制备了聚四氟乙烯薄膜．通过红外吸收光谱的研究分析了薄膜中的成分及分子链结构． Teflon films were prepared on NaCl and Si substrates b

【作者】

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朱开贵石建中李可斌姚伟国张立德

【机构】

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中国科学院固体物理研究所,苏州大学物理系

【出处】

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物理学报

【发表日期】

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1997年09期

【关键词】

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聚四氟乙烯薄膜射频磁控溅射红外光谱研究分子链结构靶材吸收强度对称伸缩振动红外吸收谱离子束溅射电阻加热蒸发

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用射频磁控溅射方法分别在ＮａＣｌ和Ｓｉ基底上制备了聚四氟乙烯薄膜．通过红外吸收光谱的研究分析了薄膜中的成分及分子链结构． Teflon films were prepared on NaCl and Si substrates by RF magnetron sputtering. By infrared absorption spectroscopy analysis of the film composition and molecular chain structure.

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