【摘 要】
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介绍了软Ｘ射线多层膜分束镜的制备，采用腐蚀基底法和氯化钠脱膜分离法制备且获得了大面积的Ｍｏ／Ｓｉ多层膜分束镜．
The preparation of soft X - ray multilayer beamsplitter was intr
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介绍了软Ｘ射线多层膜分束镜的制备，采用腐蚀基底法和氯化钠脱膜分离法制备且获得了大面积的Ｍｏ／Ｓｉ多层膜分束镜．
The preparation of soft X - ray multilayer beamsplitter was introduced. A large area Mo / Si multilayer beamsplitter was prepared by etching substrate method and sodium chloride removal separation method.
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