畸变的束流相图的测量方法

来源 :西安交通大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jayleardutt
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用缝针法和孔针法来测量束流相图的结果往往不同,本文讨论了这两种方法的关系,说明了不宜于用缝针法来测量由于象差而产生严重畸变的束流相图,并提出了一种改进的测量方法——单孔移位、逐点测量法,且用此方法测得了畸变成S 型的束流相图. The results of using the stitch method and the stitch method to measure the beam phase diagram often differ. This paper discusses the relationship between these two methods and shows that it is not appropriate to measure the beam phase due to aberration due to aberration An improved measurement method, single hole displacement and point-by-point measurement, is proposed and the beam phase diagram distorted into S-shape is obtained by this method.
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