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研究开发了一种用于光学调整的二维压电驱动的纳米级微动工作台，建立了工作台的力学模型，并利用结构力学理论推导出工作台沿X、Y方向刚度及前二阶固有频率的解析式。通过微动工作台固有频率及沿X，Y方向刚度的实验测试，验证了解析方法和有限元方法用于微动工作台设计分析的可行性。有限元分析结果表明，可通过改变直角平板柔性铰链的特征参数，达到控制和优化工作台固有频率、输出位移、应力分布及驱动力响应的目的，并提出一种初选微动工作台柔性铰链参数的简易方法。