【摘 要】
：
椭偏仪是薄膜测量的重要工具。从模拟和实验两方面，描述一种新颖的单波长椭偏仪的校准方法。该方法的基本思路是：如果被测样品的相关信息(折射率n,吸收系数k,厚度d)已知，则可以通过测量光强变化的傅里叶系数，采用最小二乘法原理反演出此时椭偏系统的信息（即校准参数，包括起偏器方位角P，检偏器方位角A，波片起始旋转角Cs，波片位相延迟δ，系统入射角θ0）。利用校准得到的系统参数和测量未知样品得到的光强傅里叶系数，求得未知样品的厚度。该方法具有操作简单、节约成本等优点。分别针对2~6个样品尝试了校准，对该校准方法做了
【机 构】
：
电子科技大学物理电子学院,四川成都610054中国科学院微电子研究所中国科学院微电子器件与集成技术重点实验室,北京100029
论文部分内容阅读
椭偏仪是薄膜测量的重要工具。从模拟和实验两方面，描述一种新颖的单波长椭偏仪的校准方法。该方法的基本思路是：如果被测样品的相关信息(折射率n,吸收系数k,厚度d)已知，则可以通过测量光强变化的傅里叶系数，采用最小二乘法原理反演出此时椭偏系统的信息（即校准参数，包括起偏器方位角P，检偏器方位角A，波片起始旋转角Cs，波片位相延迟δ，系统入射角θ0）。利用校准得到的系统参数和测量未知样品得到的光强傅里叶系数，求得未知样品的厚度。该方法具有操作简单、节约成本等优点。分别针对2~6个样品尝试了校准，对该校准方法做了模拟分析。将该方法用于实际测量，考证校准后的测量效果，并做了误差分析,最大误差为0.26 nm。
其他文献
用TEA CO2激光9.6μm的R（14）支线选择性地解离CF3I,以得到C-13同位素的富集.在-80℃时,对0.2Torr CF3I、4Torr O2的反应体系,取得89的富集系数.研究了富集系数与捕捉剂、温度、能量密度和解离率的关系.
对图的简单说明：图1(a)和(b)是本发明的实例的侧视及断面图；图2和3是本发明另一 些实例的断面图。
提出了一种测量微光学元件的折射率分布及面形的方法。该方法基于双波长数字全息术，将微光学元件浸入折射率匹配液降低通过微光学元件的透射光波频率，获取微光学元件在两个不同波长照明光波下的数字全息图，并根据两个波长下的相位分布，计算出微光学元件的折射率分布，利用得到的折射率分布获取微光学元件的面形。理论分析及实验结果证明了所提方法的可行性。
Silver nanoparticles (Ag NPs) are synthesized with chemical method, which are introduced into the traditional organic photovoltaic (OPV) structure. The experimental results show that both the optical and photoelectric properties are enhanced because of lo
针对现有高光谱图像生成式对抗网络(GAN)分类算法中存在不能充分提取光谱特征和空谱联合特征而导致高光谱图像分类精度降低的问题,提出一种基于双通道GAN的高光谱图像分类算法。通过搭建改进的一维GAN分类框架和二维GAN分类框架来分别提取完整的光谱特征和空间特征,并将光谱特征和空间特征进行非线性融合形成更为全面的空谱联合特征,最后将其送入到分类器中进行分类。对常用的高光谱图像数据集进行了分析验证,结果
数字散斑技术作为一种新兴的测量方法,它具有非接触、全场量测、精度高、操作简单等特点,随着计算机技术的迅猛发展,数字散斑技术得到了广泛的应用与研究。针对混凝土在外荷载作用下具有明显的非均匀变化的特征,借助传统的测量方法很难得到混凝土表面的全场变形结果的问题,结合数字散斑相关方法测量技术,开展了混凝土单轴压缩试验,拍摄了混凝土表面在单轴压缩过程中的位移与应变矢量场,为分析混凝土试件的损伤区域奠定了基础; 与电测法测量结果进行了对比,其测量结果表明,这两种测量方法误差相对较小,且数字散斑技术能更早的发现混凝土表
由于太赫兹辐射的独特性质和潜在的应用价值, 国内外关于太赫兹波的产生和探测的研究正呈现日益繁荣的景象, 目前太赫兹相干辐射源的研究已成为太赫兹技术领域最重要的前沿课题之一。介绍了产生太赫兹相干辐射的三种主要途径：一是光学技术, 它从高频向低频发展, 其代表为太赫兹激光器, 如气体激光器、半导体激光器和量子级联激光器等; 二是电子学技术, 它由低频向高频发展, 如微波管、固体微波源等; 三是光电子技术, 其频率由1 THz向两侧展宽, 采用超快激光脉冲触发产生太赫兹脉冲。设计了基于光学技术的太赫兹相干辐射系
Q开关激光器的发明，为雷达技术向电磁谱的光和近光波段的延伸提供了一种直接方法。虽然涉及的是散射、吸收和折射这些同样的现象，但欲观察的气象条件和欲得到的新知识是很新奇的，以致可能公认一个“光雷达气象学”新领域。现在使用的光雷达辐射的电磁谱的频率约比厘米波雷达高50倍。
We demonstrate that ultra-thin porous alumina membrane (PAM) is suitable for controlling of both size and site of Ge nanodots on Si substrates. Ge nanodots are grown on Si substrates with PAM as a template at different temperatures with molecular beam epi
本文报导了千瓦级横向流动闭合循环 CO2激光器的组成,着重讨论了无弧光放电电极结构及放电特性。采用多针触发使较大放电电流时的辉光放电稳定性明显提高;主电源直流输出特性及限流电阻选择对放电稳定性及功率输出影响很大。放电区气流速度40米/秒,工作气压46毫米汞柱,激活区长度86厘米,获得2千瓦连续多模输出,电光效率达15%。