【摘 要】
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报道了在室温和２００ｋＶ电压下，以６．７×１０１６Ａｇ＋／ｃｍ２剂量注入单晶ＳｉＯ２的研究结果。Ｒａｍａｎ谱表明６．７×１０１６Ａｇ＋／ｃｍ２注入使单晶Ｓｉ２Ｏ２非晶化；ＸＰＳ结果初步说明注入的Ａｇ以金属态存在；ＲＢＳ谱表明Ａｇ在Ｓｉ２Ｏ２中呈现双峰分布。ＴＥＭ明场像显示了Ａｇ在注入层中形成两种主要
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报道了在室温和２００ｋＶ电压下，以６．７×１０１６Ａｇ＋／ｃｍ２剂量注入单晶ＳｉＯ２的研究结果。Ｒａｍａｎ谱表明６．７×１０１６Ａｇ＋／ｃｍ２注入使单晶Ｓｉ２Ｏ２非晶化；ＸＰＳ结果初步说明注入的Ａｇ以金属态存在；ＲＢＳ谱表明Ａｇ在Ｓｉ２Ｏ２中呈现双峰分布。ＴＥＭ明场像显示了Ａｇ在注入层中形成两种主要尺寸的球形超微粒。较大的直径为２５ｎｍ左右，分布相当密集；较小的直径大约为５ｎｍ。注入层的光吸收谱表明在４０４、２１０、６２０ｎｍ波长处有三个强烈吸收带。４０４ｎｍ处的吸收带是金属Ａｇ超微粒的表面共振激元吸收，其它两个则是离子注入产生的缺陷吸收。
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