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GMM和SAW谐振器复合磁传感器设计与分析

来源 :微纳电子技术 | 被引量 : 1次 | 上传用户：catloveless

【摘要】

：

提出了一种新的超磁致伸缩材料(GMM)和声表面波(SAW)谐振器构成的复合磁传感器,将磁场中GMM的应力应变传递到SAW谐振器上,改变其谐振频率,检测谐振频率进行磁场测量。推导了复合磁传感器在磁场中的频率响应及磁场-频率偏移量关系,并对传感器的静态特性进行了测试。分析表明该传感器为低通系统,截止频率约为14.34Hz。实验验证了复合传感器的最高静态灵敏度可达到190Hz/Oe。

【作者】

：

郑敏文玉梅李平肖庭富

【机构】

：

重庆大学光电工程学院教育部光电技术及系统重点实验室

【出处】

：

微纳电子技术

【发表日期】

：

2007年Z1期

【关键词】

：

超磁致伸缩材料声表面波谐振器磁传感器 giant magnetostrictive material surface acoustic wave re

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提出了一种新的超磁致伸缩材料(GMM)和声表面波(SAW)谐振器构成的复合磁传感器,将磁场中GMM的应力应变传递到SAW谐振器上,改变其谐振频率,检测谐振频率进行磁场测量。推导了复合磁传感器在磁场中的频率响应及磁场-频率偏移量关系,并对传感器的静态特性进行了测试。分析表明该传感器为低通系统,截止频率约为14.34Hz。实验验证了复合传感器的最高静态灵敏度可达到190Hz/Oe。

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