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聚焦离子柬（Focused Ion Beam，FIB）技术自从20世纪70年代中期问世以来就得到了迅速发展，尤其是近些年伴随着FIB系统在分辨率、稳定性、用户友好自动化程序方面的发展，以及FIB系统与SEM、各种信号探测模式（如低能背散射电子（BSE）、x射线能谱（EDX）、电子背散射衍射（EBSD））、高精度的纳米操纵仪及力学测试仪等的结合，使其逐渐演化为功能强大的材料加工、表征、分析和测试平台，其应用领域也从最初的半导体材料检测扩展到材料科学、生命科学、纳米科学等研究领域。FIB凭借其高效独特的微纳尺