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介绍了一种太阳能硅片清洗剂TF-014的制备方法和应用性能,该清洗剂适用于金刚线切割超声清洗工艺,不仅具有优秀的去油污和金属离子螯合能力,而且具有低泡易清洗、不留白斑、无磷无氮、安全环保等特点.在全自动硅片超声清洗设备中,该清洗剂的最佳使用工艺为:清洗温度为55℃,清洗时间为240 s,清洗浓度为2.5%.