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报道了用电子回旋共振化学气相沉淀积技术淀积ＳｉＯＮ／ＳｉＮ双层硅太阳电池减反膜的实验研究。用红外吸收谱，俄歇电子谱以及二次离子质谱等实验方法对薄膜的组分，结构２，界面过渡区的特性以及膜层中的氢分布进行了分析，实验表明：在制备减反射膜中，要获得较佳的减反效果，应尽量降低淀积温度，增大微波功率。
SiON／SiN太阳电池双层减反膜的性能研究
【摘 要】
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报道了用电子回旋共振化学气相沉淀积技术淀积ＳｉＯＮ／ＳｉＮ双层硅太阳电池减反膜的实验研究。用红外吸收谱，俄歇电子谱以及二次离子质谱等实验方法对薄膜的组分，结构２，界面过渡区的特性以及膜
【机 构】
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中国科学院西安光学精密机械研究所,西安电子科技大学微电子研究所
【出 处】
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太阳能学报
【发表日期】
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1997年3期
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