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直流磁控溅射法制备TiO2薄膜的研究
直流磁控溅射法制备TiO2薄膜的研究
来源 :西南民族大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:nini907194627
【摘 要】
:
论术采用直流磁控溅射法制备TiO2薄膜的实验研究。研究了氧流量、基片温度对制备TiO2薄膜的影响,并测量了薄膜的晶相结构和表面形貌,结果表明制备出了具有锐钛矿晶体结构的TiO2
【作 者】
:
刘子丽
肖峻
蒋向东
孙继伟
【机 构】
:
西南民族大学电气信息工程学院,电子科技大学光电信息学院
【出 处】
:
西南民族大学学报(自然科学版)
【发表日期】
:
2009年6期
【关键词】
:
TIO2薄膜
直流磁控溅射
氧流量
基片温度
TiO2 Thin Films DC magnetron sputtering O2 flow substrate
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论术采用直流磁控溅射法制备TiO2薄膜的实验研究。研究了氧流量、基片温度对制备TiO2薄膜的影响,并测量了薄膜的晶相结构和表面形貌,结果表明制备出了具有锐钛矿晶体结构的TiO2薄膜.
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