直流磁控溅射法制备TiO2薄膜的研究

来源 :西南民族大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:nini907194627
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论术采用直流磁控溅射法制备TiO2薄膜的实验研究。研究了氧流量、基片温度对制备TiO2薄膜的影响,并测量了薄膜的晶相结构和表面形貌,结果表明制备出了具有锐钛矿晶体结构的TiO2薄膜.
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