论文部分内容阅读
本文介绍了PECVD G8.5设备RF系统的结构和工作原理。结合PECVD设备在实际生产过程中反射功率过高的问题,通过RF Generator设置,RF match电容配比实验,设备故障以及备件管理的分析,制定了相应的解决对策,从而实现RF系统阻抗匹配,降低RF系统故障发生率。
PECVD RF系统原理和故障改善
【摘 要】
：
本文介绍了PECVD G8.5设备RF系统的结构和工作原理。结合PECVD设备在实际生产过程中反射功率过高的问题,通过RF Generator设置,RF match电容配比实验,设备故障以及备件管理的
【机 构】
：
北京京东方显示技术有限公司
【出 处】
：
中国设备工程
【发表日期】
：
2019年9期
其他文献
进行了小麦＂3414＂肥效试验,结果表明：小麦的氮、磷、钾施用量均存在一个合理阀值,氮肥对小麦产量影响最大,依次是磷肥、钾肥;小麦要增产增收,氮、磷、钾需合理配方施用。在高港
当前中国的国情里面制药技术是非常适合的,主要的要求就是制药产业的技术核心技术的制作和创新。创新技术的科学战略未来就是在于智能数字化的中国制药产业以及中国制药行业
习近平新时代中国特色社会主义思想体现出特色鲜明的三大定位，即强国思想是目标定位;治党思想是方法论定位;人民思想是价值观定位。强国思想立足新时代，紧紧围绕中华民族伟大复
《小学数学课程标准》中指出,在小学数学教学中必须培养初步的创新精神和实践能力,指导学生学会运用数学的思维方式去观察、分析现实社会,去解决日常生活中和其他学科学习中