论文部分内容阅读
第3届微电子与等离子体技术国际会议(The 3rd Intemational Conference on Microelectronics and Plasma Technology.ICMAP-2011)于2011年7月4-7日在大连富丽华大酒店召开。本次会议由韩国真空学会、中国真空学会、中国力学学会、韩国半导体与显示技术协会、日本应用物理学会等离子体电子学分会主办,大连理工大学承办。