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本文采用相对灵敏度因子法，对硅中磷含量的SIMS定量分析方法进行研究。并通过提高质量分辨率的方法降低背景，使磷的检测限达到1．0×10^14atoms／cm^3，进而成为高纯硅样品中磷杂质含量的最可行的检测手段。
硅中磷的SIMS分析
【摘 要】
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本文采用相对灵敏度因子法，对硅中磷含量的SIMS定量分析方法进行研究。并通过提高质量分辨率的方法降低背景，使磷的检测限达到1．0×10^14atoms／cm^3，进而成为高纯硅样品中磷杂
【机 构】
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电子材料研究所
【出 处】
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现代仪器
【发表日期】
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2010年3期
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