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晶圆代工生产线的黄光区光刻机通常是晶圆代工生产线的瓶颈设备。运用约束理论和变动性基础理论的相关概念,从投料控制、瓶颈派工以及瓶颈设备工艺调整三个方面可改善晶圆代工生产线运作绩效,并且通过生产实践活动体现真实的改善效果。
晶圆代工厂生产运作绩效改善研究与实践
【摘 要】
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晶圆代工生产线的黄光区光刻机通常是晶圆代工生产线的瓶颈设备。运用约束理论和变动性基础理论的相关概念,从投料控制、瓶颈派工以及瓶颈设备工艺调整三个方面可改善晶圆代
【机 构】
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上海华虹宏力半导体制造有限公司
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2016年5期
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