论文部分内容阅读
在不同的衬底温度下，采用磁控溅射方法在蓝宝石（0001）衬底上制备了外延生长的ZnO薄膜。采用原子力显微镜（AFM）、X射线衍射仪（XRD）、可见-紫外分光光度计系统研究了衬底温度对ZnO薄膜微观结构和光学特性的影响。AFM结果表明在不同衬底温度制备的ZnO薄膜具有较为均匀的ZnO晶粒，且晶粒的尺寸随衬底温度的增加逐渐增大。XRD结果显示不同温度生长的ZnO薄膜均为外延生长，400℃生长的薄膜具有最好的结晶质量；光学透射谱显示在370nm附近均出现一个较陡的吸收边，表明制备的ZnO薄膜具有较高的质量，其光