论文部分内容阅读
介绍了CVD技术的原理和分类。对不同种类的CVD薄膜进行了比较和分析,并主要讨论了 CVD绝缘介质薄膜在后段工艺中的应用。
化学气相淀积在集成电路制造后段工艺中的应用
【摘 要】
：
介绍了CVD技术的原理和分类。对不同种类的CVD薄膜进行了比较和分析,并主要讨论了 CVD绝缘介质薄膜在后段工艺中的应用。
【机 构】
：
上海宏力半导体制造有限公司,上海宏力半导体制造有限公司,上海宏力半导体制造有限公司
【出 处】
：
半导体技术
【发表日期】
：
2005年11期
其他文献
人类一切生存与发展的根本源泉在于环境,人与自然的和谐才是可持续发展的必然要求。我国炼化企业受自身利益影响,仍不惜以牺牲资源环境为代价,导致环境不断恶化的同时,环境治
<正> 宽带建设已经成为全球信息化建设新浪潮,宽带概念正成为信息化背景下的一个新“热点”。什么是带宽,窄带与宽带有什么区别,宽带的优势在哪里,本文作一简要介绍。
降水、气温的空间分布是影响流域水量平衡模拟的关键因素,运用距离权重反比法(IDW)、梯度距离权重反比法(GIDW)、样条函数法(Spline)和克里金插值法(Kriging)对青海湖流域及
台湾自1993年步入"老龄化"社会后,人口问题日趋严重。人口结构失衡使台湾劳动力人口萎缩,进而影响商业规模与消费模式,加重台湾青壮年人口抚养负担,社会福利支出沉重,并冲击
目的:研究潜江市人乳头瘤病毒感染及亚型分布情况。方法:选取就诊的1 235例患者为研究对象,应用反向点杂交技术对患者标本进行人乳头瘤病毒分型检测,对所得数据进行统计分析
明清时期松江府的棉织业闻名全国,正所谓'松壤地不多而物产有名天下者,力耕植勤纺织也。'而男耕女织、精耕细作的小农经济,成为了我国整个封建时期的经济基础。那么,
回顾近年来国内外对先天性甲状腺功能减低症最新研究进展,对于先天性甲状腺功能减低症的诊断标准,是否对神经及体格生长发育存在影响及干预治疗方面仍存在争议,故本文对先天
针对农超对接领域的现状和存在问题,提出相应的对策,如提升农民合作组织的素质,构建生鲜农产品物流中心,以规模经济降低生鲜物流成本,提高超市生鲜农产品经营管理水平等。
随着大数据时代的到来,信息技术的发展进入了新的层面,信息数据在急剧增长,智能化技术在普遍应用,对人们的生活产生了巨大影响。而高校图书馆作为重要的信息资源集聚地,也同