【摘 要】
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Cubic boron nitride (c-BN) thin films are deposited on p-type Si wafers using radio frequency (RF) sputtering and then doped by implanting S ions. The implantat
【机 构】
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College of Applied Sciences, Beijing University of Technology, Beijing 100124, China,
【出 处】
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Chinese Physics B
论文部分内容阅读
Cubic boron nitride (c-BN) thin films are deposited on p-type Si wafers using radio frequency (RF) sputtering and then doped by implanting S ions. The implantation energy of the ions is 19 keV, and the implantation dose is between 10 15 ions/cm 2 and 10 16 ions/cm 2 . The doped c-BN thin films are then annealed at a temperature between 400°C and 800 C. The results show that the surface resistivity of doped and annealed c-BN thin films is lowered by two to three orders, and the activation energy of c-BN thin films is 0.18 eV.
The implantation energy of the ions is 19 keV, and the implantation dose is between 10 (c-BN) thin films are deposited on p-type Si wafers using radio frequency (RF) sputtering and then doped by implanting S ions. 15 ions / cm 2 and 10 16 ions / cm 2. The results show that the surface resistivity of doped and annealed c-BN thin films is lowered by two to three orders, and the activation energy of c-BN thin films is 0.18 eV.
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