用气相反应法制备纳米WO3气敏材料

来源 :传感技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：fhzh508508

【摘要】

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材料的制备是研制半导体气敏传感器的关键环节.用气相反应法,以纯钨丝为原料,制备了WO3粉末,又以此WO3粉末为基材,制作了NO2气敏传感元件.在性能测试中发现,该元件对低浓度(1

【作者】

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余华梁黄世震林伟陈伟

【机构】

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福州大学电子系气湿敏传感器研究所

【出处】

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传感技术学报

【发表日期】

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2005年2期

【关键词】

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气相反应法纳米WO3 气敏性质 NO2 gas-state reaction nanometer WO_3 NO_2 gas sensing chara

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材料的制备是研制半导体气敏传感器的关键环节.用气相反应法,以纯钨丝为原料,制备了WO3粉末,又以此WO3粉末为基材,制作了NO2气敏传感元件.在性能测试中发现,该元件对低浓度(10-10)NO2灵敏,灵敏度可达10倍左右,而且响应迅速,响应时间为1.5 s.文中从材料的微观结构入手,对材料的敏感机理作了分析.

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