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超高速集成电路用高纯硼粉的研制
超高速集成电路用高纯硼粉的研制
来源 :稀有金属 | 被引量 : 0次 | 上传用户:juyuyong
【摘 要】
:
研究了溴化合成还原法制取高纯硼粉的工艺及硼粉的结构,颗粒外貌等特征。
【作 者】
:
李萍乡
窦维喜
【机 构】
:
北京有色金属研究总院
【出 处】
:
稀有金属
【发表日期】
:
1999年3期
【关键词】
:
高纯硼粉
制备工艺
超高速集成电路
研制
High purity boron powder
Manufacturing process
Structure
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研究了溴化合成还原法制取高纯硼粉的工艺及硼粉的结构,颗粒外貌等特征。
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