【摘 要】
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在比较几种探测器集成制造方法的基础上，提出采用各向异性导电膜作为电信号互联的手段，实现热释电探测器与信号处理电路的混合集成，从而演示了一种兼容性良好的集成化多传感器制
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在比较几种探测器集成制造方法的基础上，提出采用各向异性导电膜作为电信号互联的手段，实现热释电探测器与信号处理电路的混合集成，从而演示了一种兼容性良好的集成化多传感器制造方法。对单晶钽酸锂热释电探测器采取机械研磨减薄获得其薄膜，利用3M的5552R各向异性导电膜，实现了探测器与信号读出电路的互联。对探测器的测试表明：机械研磨减薄获得的钽酸锂薄膜表现出与晶体接近的热释电特性，探测器表现出良好的绝热性质和动态响应特性。
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