【摘 要】
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针对工作在涵盖甚长波段的碲镉汞红外探测器,设计较薄的光学膜层或光学结构实现反射率低于10%的减反效果,分为减反膜系和类光子晶体两种设计。基于光学薄膜理论设计并分别用
【机 构】
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复旦大学信息科学与工程学院,中国科学院上海技术物理研究所中国科学院红外成像材料与器件重点实验室
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针对工作在涵盖甚长波段的碲镉汞红外探测器,设计较薄的光学膜层或光学结构实现反射率低于10%的减反效果,分为减反膜系和类光子晶体两种设计。基于光学薄膜理论设计并分别用两种算法优化得到了3层和4层ZnS/YbF3增透膜。经过模拟计算,设计的减反膜在816μm的宽光谱波段范围内能大幅度减少红外探测器表面的反射,平均反射率低于5%,并且在0°60°入射角范围内都具有明显的减反效果。另外,通过类光子晶体的周期性纳米柱结构设计,得到了在1416μm波段平均反射率低于5%的设计方案。两种方案提供了不同思路的甚长波减反设计,减反膜系相对简单廉价,易于大规模生产;类光子晶体设计,生产技术要求较高,但性质更加稳定可靠。
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