【摘 要】
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针对传统迈克尔逊干涉测量位移精度较低的问题,本文提出了一种新型迈克尔逊干涉测量方法,该方法通过增加偏振分光棱镜来提高干涉条纹的明暗变化,很大程度上克服了传统迈克尔
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针对传统迈克尔逊干涉测量位移精度较低的问题,本文提出了一种新型迈克尔逊干涉测量方法,该方法通过增加偏振分光棱镜来提高干涉条纹的明暗变化,很大程度上克服了传统迈克尔逊干涉灵敏度和测量精度较低的问题。实现了0.01mm微小位移的精确测量,且测量误差为0.044%,测量系统性能稳定,该系统可为后续的高精度测量提供宝贵的经验。
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