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采用0．5μmGaNHEMT工艺设计了X波段五位数字移相器的单片微波集成电路（MMm），描述了移相器的设计过程，并进行了版图电磁仿真。该移相器采用高低通滤波器型网络和加载线型结构。利用电路匹配技术设计移相器电路的开关结构，将CaN器件的插入损耗从14dB降至1dB。版图仿真结果表明，在9．2GHz～10．2GHz频带范围内，均方根移相误差小于3．5°，插入损耗典型值为17．4dB，回波损耗小于-12dB，版图尺寸为5．0mm×4．7mm。