【摘 要】
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AlGaN基材料作为带隙可调的直接带隙宽禁带半导体材料，是制备紫外光电子器件的理想材料。在无法获得大尺寸、低成本的同质衬底的情况下，高质量AlN薄膜的异质外延是促进紫外器件发展的关键。本文中，通过调节蓝宝石衬底上AlN的金属有机物化学气相沉积（metal organic chemical vapor deposition， MOCVD）生长模式产生高密度纳米级孔洞，并利用纳米级孔洞来降低AlN的位
【基金项目】
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国家自然科学基金重点项目（61734008，62174173）； 江苏省重点研发计划（BE2021008-3）；
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AlGaN基材料作为带隙可调的直接带隙宽禁带半导体材料，是制备紫外光电子器件的理想材料。在无法获得大尺寸、低成本的同质衬底的情况下，高质量AlN薄膜的异质外延是促进紫外器件发展的关键。本文中，通过调节蓝宝石衬底上AlN的金属有机物化学气相沉积（metal organic chemical vapor deposition， MOCVD）生长模式产生高密度纳米级孔洞，并利用纳米级孔洞来降低AlN的位错，并在此基础上外延了AlGaN量子阱结构，得到了275 nm波段的深紫外LED薄膜，并获得低开启电压和良好整流性能的深紫外LED器件。
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