液晶光阀光电导层光吸收系数的研究

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用化学气相沉积法制备了液晶光阀中光电导层——非晶硅薄膜,从实验中得出最佳制备工艺的参数取值。给出了用包络线法测量非晶硅薄膜光吸收系数的原理,测量了样品的光吸收系数随波长的变化规律。得到样品在最佳工艺条件下的光吸收系数高于1×10^3cm^-1。
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